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太阳能ku娱乐官网入口
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一．ku娱乐官网入口概述：
本ku娱乐官网入口主要用于晶体硅太阳能电池、电力电子等行业的关键电子专用ku娱乐官网入口，适合于125mm*125mm和156mm*156mm太阳能电池硅片表面掺杂扩散、氧化、退火等制程工艺，采用电脑工控机软件控制方式，是其性能技术指标已经达到国际先进技术水平。
太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式
◆闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，偏磷酸、CL2分开收集处理；工艺废气集中收集从尾部定向排出；各种工艺气体可分开送入石英管内，工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管软着陆扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰，工艺质量完全受保护。
◆自动化程度：自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用国外进口，可达到±0.5℃的控制精度。
◆送取片方式：悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉机构受腐蚀，影响推拉机构的精确性。
二．ku娱乐官网入口主要特点和优势
1★具有强大的软件功能，友好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态；配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间；
2★采用高可靠性工控机+PLC模式，对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化；
3★程序可以实现手/自动工作，在停电或中途停机后，再次启动可以根据工艺手动升温，节省工艺时间；
4★具有多种工艺管路，可供用户方便选择；
5★冷端采用PT100检测环境温度进行温度补偿，避免环境温度变化，对炉膛温度产生影响，避免层间干扰；
6★推拉舟控制采用自动上下装卸舟、高速脉冲闭环控制，避免马达丢步，运行颤抖现象。推拉舟运行完一个周期，自动校准位置，有效防止定位偏差；
7★气体流量采用数字化精确控制，采用模拟信号闭环控制，强弱电分开，各种数据交互采用标准总线，提高抗干扰能力，保证数据安全；气体打开具有缓启动功能；
8★具有多种报警功能及安全保护功能；
9★恒温区自动调整，串级控制，可准确控制反应管的实际工艺温度；
10★压力自动调整技术，将压力参数引入晶体硅太阳能电池扩散/氧化工艺，有效减小了尾部排风对工艺的干扰，减小由排风引起的工艺波动。
三．ku娱乐官网入口类型参数：D
| 方式：
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左/右手操作方式，大工作台面（侧面采用高效净化）
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可配工艺管数量：
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1-5管系统
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净化台洁净度：
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100级（10000级厂房）
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气体流量控制：
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均用进口数字化MFC控制
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气路流量设定精度：
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±1%FS
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送取片方式：
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自动推拉,采用Sic浆推拉舟,软着陆方式
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推拉杆行程
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1800mm-2100mm
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速度：
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20mm-1000mm/
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垂直升降速率:：
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7mm/min-15mm/min；
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承重：
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≥15kg
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装舟方式:
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自动装卸石英舟
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冷却系统：
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水冷2～4Kgf/cm2，8L/min；＋上接排风冷≈25m3/min；
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使用类型：T
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6-8寸炉管
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可加工硅片尺寸
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125mmX125mm 156mmX156mm（单面扩散530片）
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工作温度：
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600～1150℃
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炉管有效口径:
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￠300-350mm
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总功率：T
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35-45KVA/管 保温功率：13-18KVA/管
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三相五线制：
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380V±10%，50Hz±10%，次级线不小于35平方高温线
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报警:
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具有超温报警，断偶报警，气体互锁，气体缓启动等功能
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恒温区长度及段数：
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800-1200mm（3-5段控温）
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控温精度：
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±0.5℃（≧1100℃）
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单点温度稳定性：
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±1℃/12h
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控温方式： :
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工控机 + PLC控制 + 触摸屏
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热偶类型:
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热电偶采用S/R型，每管Spike 4-10支热偶
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最大可控升温范围：
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(600～1100℃)0--15℃/min
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最大可控降温范围：
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(1100～600℃)0--10℃/min
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ku娱乐官网入口总外形尺寸：
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长*宽*高：6500*1500*3750mm
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四．主要构成：
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ku娱乐官网入口主机
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2、
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加热系统
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3、
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排风冷却系统
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4、
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排毒箱（和ku娱乐官网入口主机做为一体）
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5、
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净化工作台
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6、
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控制系统
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7、
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自动碳化硅浆推拉舟机构
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8、
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自动装卸舟系统
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